ИНТЕГРАЛЬНЫЕ ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ СИЛЫ И ДАВЛЕНИЯ типа Н100

Описание

Преобразователи (рис. 71) предназначены для пропорционального преобразования силы или давления в электрический сигнал.

Принцип действия основан на использовании тен-зоэффекта в полупроводниках.

Чувствительным элементом является двухслойная сапфиро-титановая мембранно-рычажная система, на которой методами современной микроэлектроники сформирована схема-мост Уит-стона с четырьмя активными кремниевыми тен-зорезисторами. Мост питается током постоянной величины. Под действием силы, приложенной к концу рычага вдоль его оси, мембрана упруго де

формируется, тензорезисторы меняют свое сопротивление пропорционально деформации, вызывая разбаланс моста, который выдает сигнал-напряжение, пропорциональный давлению.

Рис. 71. Интегральные тензопреобразователи силы и давления типа ШОО

Рис. 72. Габаритные и присоединительные размеры тензопреобразователя типа Н100

Интегральные тензопреобразователи позволяют преобразовать силу или давление в электрический сигнал в широком диапазоне температур. Для защиты тензочувствительной схемы от прямого попадания пыли и влаги тензопреобразователи размещаются во внутренней полости, которая может быть заполнена жидкостью, обладающей диэлектрическими свойствами.

Преобразователи широко применяются для контроля веса, натяжения в совокупности с анероидной системой измерения давления: в кабельной промышленности для контроля натяжения провода при его изготовлении; в полупроводниковой промышленности для контроля и регулирования скорости вытягивания монокристаллов из расплава; в кино-телеаппаратуре для поддержания постоянного натяжения носителя информации (магнитолента, кинолента, перфолента); в текстильной промышленности для настройки и регулирования систем натяжения нити; в сейсморазведке.

Технические характеристики

Номинальные: сила 100 Н (10 кгс); давление 4,0 МПа (40 кгс/см2). Кратковременная перегрузка: по силе до 150 Н (15 кгс); по давлению до 6,0 МПа (60 кгс/см2). Диапазон выходного сигнала (/д 220...360 мВ. Начальный

сигнал ±15мВ. Нелинейность: по силе ±0,3% 1/д; по давлению ±0,5% t/д. Вариация ±0,1% (/д. Дрейф нулевого сигнала от температуры ±2,0 мВ/10°С. Нестабильность выходного сигнала от температуры -0,8...+0,5% f/д /10°С. Сопротивление моста 3,0...3,5 кОм. Ток питания 2,0 мА. Масса не более 25 г. Габаритные и присоединительные размеры приведены на рис, 72.

Условия эксплуатации: рабочий диапазон температур -50...+80°С.

Допускается использование тензопреобразователей в диапазоне температур -50...+120°С. При этом характеристики внерабочего диапазона температур не нормируются.

Допускается питание от источников постоянного тока в интервале 1,7...2,3 мА, однако в этом случае следует учитывать пропорциональное току питания изменение диапазона выходного сигнала и начального сигнала.